硅片邊沿曝出設(shè)備氣動(dòng)隔振系統(tǒng)的特性
 

硅片邊沿曝出設(shè)備氣動(dòng)隔振系統(tǒng)作為工業(yè)生產(chǎn)中的一種重要減振器，其主要的功效在于控制生產(chǎn)過程中各部構(gòu)件配合產(chǎn)生的噪音以及異常震動(dòng)，能顯著提升設(shè)備使用壽命、使用者的體驗(yàn)性和生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性。目前，氣動(dòng)隔振系統(tǒng)及主動(dòng)減振系統(tǒng)已經(jīng)成為了工業(yè)活動(dòng)重要部件。

 

主要區(qū)別就在于其工程控制對象的差異。硅片邊沿曝出設(shè)備氣動(dòng)隔振系統(tǒng)的工作原理是控制振動(dòng)源，促使振動(dòng)源不能將震動(dòng)傳導(dǎo)到其他工業(yè)設(shè)備中，起到減震減振的功效。而主動(dòng)減振系統(tǒng)的工作原理是保護(hù)受震動(dòng)部件，促使受保護(hù)部件不會(huì)受到外來的振動(dòng)源的影響?？墒?，主動(dòng)減振系統(tǒng)不會(huì)像氣動(dòng)隔振系統(tǒng)那樣控制振動(dòng)源的影響。因此，如果振動(dòng)源能夠影響多個(gè)部件，則氣動(dòng)隔振系統(tǒng)更加適合該工業(yè)生產(chǎn)過程。

2個(gè)重要特性就是其設(shè)計(jì)方案的精密性和組裝步驟的便利性。一般能夠被廣泛運(yùn)用在不同設(shè)備上，具有良好的適應(yīng)性。一些使用了高純度石墨復(fù)合型橡膠的密封件的氣動(dòng)隔振系統(tǒng)，能夠當(dāng)出現(xiàn)氣體泄漏以后持續(xù)工作一段時(shí)間，該特點(diǎn)提升了在維修方面的開放式。
 

綜上，氣動(dòng)隔振系統(tǒng)在工業(yè)設(shè)備中具有廣泛應(yīng)用性，根據(jù)減振目標(biāo)、彈簧材料和工藝的差異，其性價(jià)比也就不同，需要在市場中與同類產(chǎn)品進(jìn)行充分比較，才能選出能滿足需求的產(chǎn)品。